طراحی و شبیه سازی شتاب سنج حرارتی MEMS با حساسیت بهینه شده و قابلیت اندازه گیری شتاب در دو محور
Authors
Abstract:
در این مقاله، یک میکروحسگر شتاب با طرحی ساده، هزینه ساخت پائین، حجم و وزن کم و همچنین حساس به شتاب‌های بسیار کوچک با قابلیت اندازه‌گیری شتاب در دو محور طراحی شده است. در طرح پیشنهادی از روش حرارتی - همرفتی برای اندازه‌گیری شتاب استفاده شده است. این میکرو حسگر شامل یک المان گرم‌کننده (هیتر) و دو جفت حسگر دما (دیتکتور) می‌باشد. با اعمال شتاب در راستای محور X یا Y دمای دیتکتورها متناسب با شتاب اعمالی تغییر می کند. دو مرحله شبیه‌سازی و بهینه‌سازی میکروحسگر بترتیب با استفاده از روش المان محدود و روش تاگوچی انجام شده است. پارامترهای هندسی و شرایط محیطی ساختار شتاب‌سنج مذکور، تاثیر بالایی در افزایش حساسیت آن، که از مهم‌ترین فاکتورهای خروجی آن می باشد، دارند. در این پژوهش، تاثیر ابعاد هندسی و شرایط محیطی شتاب-سنج حرارتی بر حساسیت خروجی سنسور مورد مطالعه قرار گرفت. سطح بهینه متغیرهای مذکور برای دستیابی به حساسیت ماکزیمم با تحلیل ضرایب سیگنال به نویز (S/N) و ترتیب اهمیت تاثیر متغیرها بر حساسیت سنسور با آنالیز واریانس ضرایب سیگنال به نویز تعیین شد. با تنظیم متغیرهای مورد مطالعه بر روی سطوح بهینه، حساسیت سنسور نسبت به میانگین نتایج شبیه سازی های انجام شده 77/12 برابر شد. با انتخاب بهترین مقادیر برای پارامترهای هندسی، حساسیت ̊ c/g 23/0 در محیط هوا و ̊c/g70/0 در محیط گاز دی‌اکسیدکربن به دست آمد.
similar resources
طراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی با تکنولوژی mems
در این پایان نامه یک شتاب سنج خازنی سه محوره با استفاده از تکنولوژی میکروماشین و تنها با یک جرم متحرک طراحی و شبیه سازی شده است. این شتاب سنج با استفاده از تکنولوژی میکروماشین کاری سطحی طراحی شده است. شتاب سنج پیشنهادی از پنج گروه خازنی تشکیل یافته است، دو گروه که در ربع اول و سوم مثلثاتی قرار دارند شتاب در جهت x را اندازه گیری می کنند و دو گروه دیگر که در ربع دوم و چهارم مثلثاتی قرار دارند برا...
15 صفحه اولطراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی mems
بعد از آشنایی کافی در مورد ادوات mems به طور کامل انواع شتاب سنج ها را مورد بررسی قرار دادیم و پس از آن در مورد نوع پرکاربردتر شتاب سنج ها که همان شتاب سنج خازنی mems است به توضیح و تفسیر بیشتری پرداختیم و انواع مختلف آن را که تقسیم می شود به تک محوره، دو محوره و سه محوره به طور کامل تشریح کردیم و در مرحله بعد کاربرد شتاب سنج در خودرو را مورد بررسی قرار دادیم و طبق شتاب لازمه برای تشخیص تصادف خ...
15 صفحه اولطراحی و شبیه سازی سنسور شتاب سنج رزنانس با تکنولوژی mems در محدوده 50g
در این پروژه ساختار جدیدی برای شتاب سنج رزنانس پیشنهاد و شبیه سازی شده است. اساس کار این شتاب سنج به این صورت است که شتاب اعمالی به جرم متحرک سبب اعمال نیرو به آن می شود. نیروی اعمالی به جرم متحرک از طریق دو نوع مکانیسم میکرواهرم تقویت شده و به نوسانگر منتقل می شود. نیروی اعمال شده به نوسانگرها با تغییر استرس اعمالی به آنها سبب تغییر فرکانس رزنانس آنها می شوند. بنابراین با توجه به تغییرات فرکان...
اثر بربرین در تنظیم آستروسیتهای Gfap+ ناحیه هیپوکمپ موشهای صحرایی دیابتی شده با استرپتوزوتوسین
Background: Diabetes mellitus increases the risk of central nervous system (CNS) disorders such as stroke, seizures, dementia, and cognitive impairment. Berberine, a natural isoquinolne alkaloid, is reported to exhibit beneficial effect in various neurodegenerative and neuropsychiatric disorders. Moreover astrocytes are proving critical for normal CNS function, and alterations in their activity...
full textاثر بربرین در تنظیم آستروسیتهای Gfap+ ناحیه هیپوکمپ موشهای صحرایی دیابتی شده با استرپتوزوتوسین
Background: Diabetes mellitus increases the risk of central nervous system (CNS) disorders such as stroke, seizures, dementia, and cognitive impairment. Berberine, a natural isoquinolne alkaloid, is reported to exhibit beneficial effect in various neurodegenerative and neuropsychiatric disorders. Moreover astrocytes are proving critical for normal CNS function, and alterations in their activity...
full textمدل سازی خطا و آنالیز دقت شتاب سنج میکروالکترومکانیکی mems
در این پایان نامه خطاهای یک شتاب سنج mems مورد بررسی قرار گرفته و مدل سازی شده اند. مدل پیشنهاد شده برای خطاهای سیستمی شتاب سنج شامل بایاس، ضریب مقیاس و ناهم محوری می باشد. تست های مناسبی برای دست یابی به پارامترهای مدل فوق طراحی و پیاده سازی شده است. همچنین تأثیر دما بر پارامترهای ذکر شده مورد بررسی قرار گرفته و مدل سازی خطاهای تصادفی با استفاده از تکنیک واریانس آلن صورت پذیرفته است.
My Resources
Journal title
volume 8 issue 2
pages 13- 24
publication date 2018-06-22
By following a journal you will be notified via email when a new issue of this journal is published.
Hosted on Doprax cloud platform doprax.com
copyright © 2015-2023